微細技術による高機能化特集

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微細技術による高機能化特集

切削、金型、プレス、成形といった素形材加工から、パルスレーザー・ビーム加工などの光学系技術、さらにナノインプリント・フォトリソグラフィ・マイクロ流体デバイスといった分子レベルのスケールまで。微細技術はいま、あらゆる産業において急速に進化して、医療・バイオ技術や半導体、MEMS、センサー機器などの高機能化を支えるキーテクノロジーとなっています。
本特集では、それらの加工技術を紹介するだけでなく、微細技術を実現するためのツールや設備装置、さらには半導体やMEMS分野におけるナノインプリント・フォトリソグラフィ・マイクロ流体デバイスといったナノスケールの技術も見据えて、その進展に寄与する部品・モジュールまで幅広くご紹介します。

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