【半導体・精密装置】ワークのキズ・金属汚染を防ぐ機能性コーティングの活用法 日建塗装工業株式会社

製品・技術の特徴

半導体ウエハやガラス基板の製造・検査工程において、ワーク（製品）の接触キズや金属微粒子（金属汚染・コンタミ）の付着は、製品不良を引き起こす重大な要因です。

従来は樹脂パーツの切削やプレートの接着、ネジ留めなどの対策が一般的でしたが、「組み立て・微調整の工数増大」「継ぎ目への異物混入」「摩耗による定期交換」といったコスト・品質面での課題がありました。

こうしたお悩みを解決するのが、日建塗装工業株式会社の「機能性コーティング」です。金属パーツの表面へ直接、フッ素樹脂やPEEK（ピーク）樹脂などの高機能樹脂を一体成膜することで、精密製造現場の生産性と品質向上に貢献します。

■日建塗装工業が提供する「機能性コーティング」4つの強み

1. １，ワークの傷つき・欠け（チッピング）を防止
   搬送ハンドや保持爪などに、耐摩耗性・耐衝撃性に優れた高機能樹脂（PEEKなど）をコーティングすることで、接触によるワークの傷つきや欠けを防止。従来のように樹脂やゴムパーツを接着・ネジ留めする必要がなく、後付けパーツの劣化や脱落リスクの低減にもつながります。
   　　

2. ２，強薬品・研磨環境への優れた耐性と絶縁性
   CMP（化学機械研磨）工程のヘッドパーツや周辺部品へフッ素樹脂コーティング（PFAなど）を施工。強酸・強アルカリ薬品や研磨スラリーが飛散する環境下でも、スラリーの固着や腐食を防ぎます。清掃性の向上と高い絶縁性付与により、パーツの長寿命化を実現します。
   　　

3. ３，大型ステージへの厚膜成膜＋精密機械加工
   1〜2mクラスの大型検査ステージにも「厚膜PEEK塗装＋精密機械加工」を施工可能。継ぎ目のないフラットな面を形成し、樹脂プレート貼り付け工程を不要にして大幅なコストダウンを実現します。
   　　

4. ４，1点からの試作・テスト加工に柔軟対応
   「自社部品に適用できるか確認したい」「評価用サンプルで摩耗試験を行いたい」といったニーズに対応し、試作1点から柔軟に施工を請け負います。　　
   　　

■このようなお悩みをお持ちの方へ

• ・搬送治具の樹脂パーツが摩耗しやすく、頻繁な部品交換・メンテナンスコストがかさんでいる

• ・ワークへの金属微粒子（パーティクル）の付着や接触キズによる不良率を下げたい

• ・組み立て治具や接着プレートの微調整に工数がかかり、リードタイムを圧縮したい

• ・薬液エリアの金属部品が腐食しやすく、耐薬品性と清掃性を両立させたい
  　　

■まとめ

半導体・精密装置分野において、ワークのキズ・金属汚染を防ぐ機能性コーティングは、歩留まり向上とメンテナンスコスト削減の双方を実現する有効な解決策です。

日建塗装工業では、図面や現場の課題に応じた最適な仕様提案から、試作施工・テスト加工まで一貫してサポートしています。自社部品の保護や長寿命化をご検討の際は、ぜひお気軽にご相談ください。

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