アルマイトの弱点を克服する高耐食封孔処理「ヤギマイト」｜耐プラズマ・耐薬品性を強化 中国電化工業株式会社

製品・技術の特徴

■ アルマイト皮膜をさらに強くする独自技術「ヤギマイト」

アルミ表面処理の常識を一歩進める技術として開発されたのが、特許取得の「ヤギマイト」です。 アルマイト皮膜の最表面に約1μmの高硬度封孔層を形成することで、従来を大きく上回る耐食性・耐プラズマ性を実現。

ヤギマイトは、アルマイト皮膜の性能を“底上げする”表面改質技術として、半導体製造装置をはじめとした高要求環境で採用が進んでいます。

■ ヤギマイトの特長

 1. 従来比約5倍の耐食性

アルカリ環境に強く、腐食進行を大幅に抑制。 塩素系ガスを扱うエッチング装置のチャンバーでも高い耐久性を発揮します。

 2. 耐プラズマ性の向上

エッチング深さの減少率は、従来品比で

　・1.5kV：10.6％減

　・2.0kV：12.0％減

　・2.5kV：21.2％減

プラズマによるダメージを受けにくく、部品寿命の延長に直結します。

 3. コスト・品質・歩留まりに貢献

• 腐食抑制によるメンテナンス頻度の低減

• パーティクル発生の抑制

• 装置内部の長寿命化 結果として、装置稼働率の向上とコスト削減に寄与します。

■ 進化するアルマイト技術：関連特許

ヤギマイト以外にも、同社はアルマイト技術の高度化に取り組んでいます。

　・ヤギマイト（特許取得） 高硬度・超耐食封孔層により、アルマイト皮膜の性能を飛躍的に向上。

　・クニマイト（特許出願中） 高温環境に強い皮膜。 50μm膜厚を500℃×3時間加熱してもクラックが発生しない耐熱性を実現。

これらの技術により、半導体・電子部品・真空装置など、より過酷な環境でのアルミ部品の信頼性向上に貢献しています。

中国電化工業は、山口県下松市を拠点として
半導体製造装置部品の表面処理を中心に、長年にわたり培ってきた高精度かつ信頼性の高い表面処理・アルマイト技術には自信を持っています。

特許取得済みのヤギマイトは「耐食性 × 耐プラズマ性 × 耐久性」 を同時に高める次世代アルマイト技術です。

半導体製造装置のような高要求環境で、腐食の抑制、パーティクル低減、メンテナンス削減 といった効果を発揮し、装置の安定稼働に大きく寄与します。

表面処理に関するお悩み事はぜひお気軽にご相談ください。

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